Описание на
продукта Пиезо нанопозициониране етап
Пиезо нанопозициониране етап изходи изместване и сила, генерирани от пиезо стекове чрез механични гъвкави панта, може да реализира X / Z / XY / XZ / XYZ движение. Максималният обхват на пътуване е до 300μm. Той има характеристиките на малък размер, бърза реакция и т.н. Високопрецизният сензор може да бъде интегриран за постигане на наноразделителна способност и точност на позициониране с изключително висока надеждност и е разделен на две структури: директно задвижване и усилено задвижване.
П12Б. XYZ100 Нискотемпературен вакуум XYZ пиезо етап
Характеристики • XYZ движение • 100μm / ход на оста • Бленда: Ø10mm • Подходящ за вакуумно приложение
Типично приложение • Повърхностна инспекция • Сканираща микроскопия • Интерференция/измерване • Обработка и стабилизация на изображения • Оптична метрология • Измерване
на полупроводници Рисунка
Технически данни
Вид
S-затворен контур
K-отворен цикъл
П12Б.
XYZ100S П12Б.
XYZ100K Единици
Активни оси
Х, И, Я
Х, И, Я
Обхват на пътуване (0 ~ 150V)
100/ос
100/ос
μm±20%
Датчик
SGS
-
Отвор
Ø10
Ø10
Мм
ОД
Ø 43
Ø 43
Мм
Резолюция
ре
1
нм Ел.капацитет
3.6/ос
3.6/ос
μF±10%
Товароносимост
0,2
г 0,2
г Кг
Размер (H)
38.5
лв. 38.5
лв. Мм
Материал
Стомана, Алуминий
Стомана, Алуминий
Забележка: По-горе се измерват с помощта на E00 / E01piezo контролер. Максималното задвижващо напрежение може да бъде -20V ~ 150V; Препоръчва се 0 ~ 120V за висока надеждност и дългосрочна употреба.
Препоръчани контролери
Нашата компания
CoreMorrow има професионален технически екип за научноизследователска и развойна дейност, силна сила на научноизследователската и развойна дейност, усъвършенствано оборудване за производство и тестване, персонализирани продукти могат бързо да бъдат доставени в рамките на 1 до 4 седмици. Ние сме получили националната високотехнологична сертификация на предприятието и сме сертифицирани от ISO9001: 2015, CE и RoHS. Ние притежаваме повече от 50 патента, включително патенти за изобретения, патенти за полезни модели, патенти за външен вид и авторски права върху софтуера и т.н., които обхващат ключовите технологии за прецизно позициониране, откриване, наблюдение, контрол и софтуер. И се превърна в най-професионалния производител на продукти за прецизно позициониране в Китай.
Сертификат
